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FIB

図2 IMG_0116[1]A-TU-020(1)Quanta3D
装置名称Dual Beam™ 装置(FIB/SEM)Dual Beam™ 装置(FIB/SEM)
Versa 3D Dual Beam™ (FEICompany)Quanta™ 3D 200i Dual Beam™ (FEICompany)
電子銃FE 電子銃
加速電圧 0.2kV~30kV
熱放射型(W)
加速電圧:0.2kV~30kV
FIB : 液体金属Gaイオン銃 加速電圧:2kV~30kV加速電圧:0.5kV~30kV
デポジションガスPt 金属蒸着・C 蒸着W 金属蒸着・C 蒸着
連続断面加工3次元構造構築FEI Slice and View
3次元構造再生ソフトAvizo Lite
TEM試料ピックアップEasyLiftOmni Probe