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走査電子顕微鏡

A-TU-019(2)ÅqSU8000År (1)A-TU-019(1)ÅqS5500År
装置名称高分解能・低加速電圧走査型電子顕微鏡超高分解能走査型電子顕微鏡
SU-8000 (日立ハイテクノロジーズ)S-5500 (日立ハイテクノロジーズ)
電子銃
FE 電子銃
加速電圧: 0.1~30kV
FE 電子銃
加速電圧: 0.5~30kV
二次電子像分解能高加速電圧15kV 1.0 nm (WD=4mm)高加速電圧30kV 0.4nm
低加速電圧1kV1.3nm (WD=1.5nm)低加速電圧1kV 1.6nm
EDS分析装置(Thermo)
最大試料サイズ100mm径(最大)平面
5.0mm×9.5mm×3.5mmH
断面
2.0mm×6.0mm×5.0mmH